容积式真空泵的原理是怎样的呢

历来,对容积式真空泵(如旋片真空泵、滑阀真空泵、罗茨真空泵等)的*限真空度测试都是采用传统的压缩式真空计(即麦克劳真空计)。

在我国现行有关对容积式真空泵性能的测试标准(机械工业部标准JB/T7266294)中也明确地规定了这一点。

众所周知,压缩式真空计的诞生至今已有120年的历史；

由于它是一种颇为有效的、直观且价廉的优良式真空度测量仪表,所以一直使用到现在。

然而,它也存在着一个致命的弱点,其使用的工作介质为汞。

汞对于人类健康来说是一种有害有毒物质。

压缩式真空计又是玻璃制品,操作人员稍有不慎,*易破碎,汞的外溢给人和环境带来严重的公害。

因此,世界上发达国家早已撇弃用压缩式真空计来作工作用真空计。

随着我国整个工业水平的提高,人民物质生活的富裕,环境保护意识的强化；

对于压缩式真空计使用的危害性也成为广大用户所认识,对于撇弃工作用压缩式真空计的呼声也日益高涨。

作为真空科技工作者,研制一种新颖的能完全替代压缩式真空度的测试仪器是义不容辞的职责,并具有十分明显的社会和经济效益。

装置原理

对于容积真空泵性能检测用的压缩式真空计,一般而言；

其量程在100～10-2Pa范围,精度要求在±10%已足够。

欲替代压缩式真空计一定要满足这一必要条件。

除此之外,按照现行部标准JB/T7266294的要求,用作容积真空泵性能检测用的压缩式真空计；

由于测量的是长久性气体分压强,因此又要求满足测试长久性气体分压强的特定条件。

鉴于上述两个要求,我们认为选择薄膜真空计加冷阱的组合装置不仅是适宜的,而且也是可取的。