激光干涉仪的技术参数

激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。

5D/6D标准型：

1. 线性：0.5ppm .

2. 测量范围：40米（1D可选80米）

3. 线性分辨力：0.001um.

4. 偏摆角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值

5. 范围：800角秒

6. 滚动角精度：1.0角秒

7. 直线度精度：（1.0+0.2/m）um或1%显示较大值

8. 直线度范围：500um

9. 垂直度精度：1角秒

10. 温度精度：0.2摄氏度

11.湿度精度：5%

12.压力精度：1mmHg