四探针测试仪的技术参数

数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专

用仪器。仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。

测量范围 电阻率：10-4～105 Ω.cm(可扩展)；

方块电阻：10-3～106 Ω/□(可扩展)；

电导率：10-5～104 s/cm；

电阻：10-4～105 Ω；

可测晶片直径 140mmX150mm(配S-2A型测试台)；

200mmX200mm(配S-2B型测试台)；

400mmX500mm(配S-2C型测试台)；

恒流源 电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调

数字电压表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；

分辨力：10μV；

输入阻抗：>1000MΩ；

精度：±0.1% ；

显示：四位半红色发光管数字显示；*性、超量程自动显示；

四探针探头基本指标 间距：1±0.01mm；

针间绝缘电阻：≥1000MΩ；

机械游移率：≤0.3%；

探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；

探针压力：5～16 牛顿(总力)；

四探针探头应用参数 (见探头附带的合格证)

模拟电阻测量相对误差

( 按JJG508-87进行) 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整机测量大相对误差 (用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5%

整机测量标准不确定度 ≤5%

计算机通讯接口 并口

标准使用环境 温度：23±2℃；

相对湿度：≤65%；

无高频干扰；

无强光直射。