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扫描电子显微镜SEM参数

扫描电子显微镜SEM基本参数

放大率：通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率，惠州普通透射电镜测试，只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到

场深：扫描电子显微镜SEM中，位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，所以，SEM可以用于纳米级样品的三维成像。

工作距离：工作距离指从物镜到样品高点的垂直距离。

如果增加工作距离，普通透射电镜测试价格，可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。

如果减少工作距离，则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。

通常使用的工作距离在5毫米到10毫米之间

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电磁透镜的作用是把电子的束斑逐渐缩小，其由*靴和铜线圈两部分组成，通过改变流过铜线圈电流的大小来改变透镜汇聚电子束的能力，在电子运动过程中，只改变速度的方向不改变速度的大小。物镜光阑用于选择电子束的孔径角，普通透射电镜测试机构，控制束流大小和调节景深，如图4所示。在使用过程中根据实际需要，一般大光阑对应低分辨率和大电流，小光阑对应高分辨率，在光阑主轴上安装不同孔径的光阑，有旋钮调节方向。

扫描电子显微镜的类型

扫描电子显微镜类型多样，不同类型的扫描电子显微镜存在性能上的差异。根据电子种类可分为三种:场发射电子、钨丝和六硼化镧。

其中，场发射扫描电子显微镜根据光源性能可分为冷场发射扫描电子显微镜和热场发射扫描电子显微镜。

冷场发射扫描电子显微镜对真空条件要求高，束流不稳定，普通透射电镜测试费用，发射体使用寿命短，需要定时对针尖进行清洗，仅局限于单一的图像观察，应用范围有限;而热场发射扫描电子显微镜不仅连续工作时间长，还能与多种附件搭配实现综合分析。

在地质领域中，我们不仅需要对样品进行初步形貌观察，还需要结合分析仪对样品的其它性质进行分析，所以热场发射扫描电子显微镜的应用更为广泛。

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