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旋片式真空系统的优点与用途
油式旋片真空泵主要优点:
1.易于安装及保养
2.油镜视窗大,便于确认油污染状况
3.直接驱动,干式高真空机组,免皮带.齿轮松弛或损耗
4.高抽速,真空度稳定,噪音小,震动低
5.空气冷却,散热效果好,螺栓固定泵浦
6.内置油雾分离器,清扫真空机组,有效避免油气制程污染,洁净环境
7.泵带气镇阀装置,可过滤一定量水蒸气与可凝性气体,寿命长
8.进气口装有逆止阀,当泵停止时,逆止阀能有效避免油气逆流
用途:
主要应用于真空镀膜、微电子、光电半导体、太阳能、冶炼、封装测试、真空含浸、等离子清洗等行业。
真空系统设计原理
单级旋片真空泵系统是理想的高真空获得设备,用于抽除普通空气或惰性气体和少量可凝性蒸汽。真空系统是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。
油式单级旋片真空泵工作原理:
转子在圆形的缸体内通过电机联节驱动旋转,转子轴线偏离缸体中心线,因此转子与缸体内壁形成线性接触,叶片沿着转子的滑槽滑动,将缸体和转子之间隔成多个工作腔,当工作腔和进气口相连时,惠城真空机组,吸入气体,随着转子的旋转,被吸入的气体被压缩,进而排除到油气分离器内。恒定的压力差使真空泵润滑油进入压缩腔。润滑油和被抽气体一起进入油气分离器,通过重力作用和油气滤网及排气过滤器网的作用下使得油、气分离,润滑油回落到油箱底部,再次循环,不含油的气体通过排气口排向大气。
水环-罗茨真空机组为ZJP系列罗茨泵作为主泵,塑料真空机组,水环泵作为前级泵的抽气机组,
它不仅可以抽除一般气体,还可以抽除含有少量水份及灰尘气体,它一般水环泵和
机械泵相比具有不怕油污染,不怕水汽与微尘,*限真空度高以及在较高真空度工
况下抽速大的特点,是轻纺,食品,化工,等行业领域的干燥,脱气及真空除气的
一种理想的真空抽气设备。
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