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视频作者：廊坊市航新仪器仪表有限公司

石英挠性加速度传感器主要有3个重要的部分:石英摆片组件、电容式传感器以及伺服控制系统。根据牛顿运动定律，加速度传感器选型，依据力平衡系统，推算出石英摆片所受的力，结合摆片的质量得到运动载体的加速度。石英挠性加速度计是根据惯性原理，通过石英挠性支承，加上的电路构成的精密仪表。石英挠性加速度计具有高输出阻抗，用户可以根据情况选择所需要的采样电阻而不致影响系统稳定性。

石英挠性加速度计

一问世，就很快取代了液浮摆式加速度计，成为惯性导航和制导系统中不可缺少的关键器件。目前，石英挠性摆式加速度计已被广泛应用于各种线加速度、振动加速度的测量和速度、距离、角速度、角位移等参数测量。

加速度计的类型较多：按检测质量的位移方式分类有线性加速度计(检测质量作线位移)和摆式加速度计（检测质量绕支承轴转动）；按支承方式分类有宝石支承、挠性支承、气浮、液浮、磁悬浮和静电悬浮等；按测量系统的组成形式分类有开环式和闭环式；按工作原理分类有振弦式、振梁式和摆式积分陀螺加速度计等；按输入轴数目分类，有单轴、双轴和三轴加速度计；按传感元件分类，有压电式、压阻式和电位器式等。

当外界有加速度输入时，加速度传感器的摆片受惯性力作用将离开平衡位置。此时由摆片上下表面与上下力矩器端面组成的差动电容容值将发生改变，这一电信号通过接线柱输出至伺服回路。经过放大的电流信号输出至线圈，利用通电导线在磁场中受到的安培力经推挽作用使摆片回复平衡位置。在摆片偏转角度很小的情况下，加速度传感器供货厂家，该电流近似与输入加速度呈线性关系。此时检测该电流就能得到输入加速度大小。

使用传感器，加速度传感器，尤其是石英加速度计之后，可以分析机器的运行状态，而不是每隔一段时间更换磨损的部件。在预测性维护框架内，只有在出现某些早期预警症状时，操作者才需要进行干预。

选择好的石英加速度计在维护方面更省事。

加速度传感器挠性的材料为温度性能好的石英玻璃，外形采用超声加工而成，挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法；也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠性材料，但造价很高。加速度传感器在结构上强行磁*对顶固定，互为对方的反向磁片，在间隙间形成均匀磁场。当有加速度a输入时，由挠性材料及力矩线圈组成的敏感质量块相对平衡位置运动而产生惯性力Fa或惯性力矩，然后通过换能器将此机械运动转换成电信号，再通过伺服放大器变成电流信号，三轴加速度传感器，电流信号被馈送到处于恒定磁场中的力矩器而产生反馈力Foc或反馈力矩Moc，与输入加速度引起的惯性力Fa或惯性力矩相平衡，直到再次恢复到平衡位置。通过分析石英挠性加速度计的温度误差机理，研究在不同温度条件下的静态输出特性.利用多次温度实验数据，采用更小二乘和多项式拟合的方法建立了石英挠性加速度计温度误差补偿模型.实验结果表明:温度误差补偿后，石英挠性加速度计在-20℃到50℃范围内刻度因子漂移量由10-4数量级提高到10-5数量级，零偏漂移量由800μg提高到52μg.

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